適用于8英寸及以下、晶圓獨(dú)立高溫柵偏試驗(yàn)（HTGB)、高溫反偏試驗(yàn)（HTRB）、Vth測(cè)試及老化篩選。系統(tǒng)符合并滿(mǎn)足JEP183、MIL-STD-750D、GJB128B、AEC-Q101等試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)；提供API接口，開(kāi)放設(shè)備狀態(tài)、通道狀態(tài)、試驗(yàn)數(shù)據(jù)、失效數(shù)據(jù)等對(duì)外接口，可部署在私有云或者公有云上，實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、工作人員、任務(wù)及數(shù)據(jù)的數(shù)字化管理，提升試驗(yàn)效率及試驗(yàn)規(guī)范化、標(biāo)準(zhǔn)化程度；配備老化夾具搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)上下料機(jī)和老化測(cè)試臺(tái)之間老化夾具搬運(yùn)；搬運(yùn)機(jī)構(gòu)具備自動(dòng)升降功能，手動(dòng)或自動(dòng)運(yùn)動(dòng)到上下料機(jī)和測(cè)試臺(tái)，自動(dòng)從上下料機(jī)和老化測(cè)試臺(tái)工位取放夾具；標(biāo)配SMIF（天車(chē)專(zhuān)用版），SMIF需配置RFID，可以讀取POD ID（正面）和Cassette ID(右邊)；配置E84通訊協(xié)議，以及配置Loadport天車(chē)搬運(yùn)的安全擋板和光柵。
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┃ 試驗(yàn)數(shù)量 | 支持單chuck 2112 die 同時(shí)老化; |
┃ 試驗(yàn)溫度 | 每區(qū)加熱臺(tái)室溫～200℃，準(zhǔn)確性±2℃，溫度過(guò)沖≤3℃; |
┃ HTRB ┃ IDSS電流檢測(cè) | 電壓0～2000V，分辨率1V; 0.1μA～1mA，分辨率0.1uA，檢測(cè)精度±(1%rdg.+2LSB) |
┃ HTGB ┃ IGSS電流檢測(cè) | 電壓±60V，分辨率0.1V; 10pA～500uA，分辨率10pA，檢測(cè)精度±(1%rdg.+2LSB) |
┃ 閾值電壓檢測(cè) ┃ 保護(hù)氣壓
| 0~10V，分辨率0.1V; 0～4bar惰性氣體
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研發(fā)&制造
售后支持
銷(xiāo)售服務(wù)
